| Номер | Название | Дата введения | Статус |
| ГОСТ Р 8.628-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления | 01.02.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection Область применения: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов | |||
| ГОСТ Р 8.629-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки | 01.02.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры - один год | |||
| ГОСТ Р 8.630-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки | 01.02.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe measuring microscopes. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал микроскопа - один год | |||
| ГОСТ Р 8.631-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки | 01.02.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. | |||
| ГОСТ Р 8.635-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки | 01.08.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 | |||
| ГОСТ Р 8.636-2007 | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки | 01.08.2008 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration Область применения: Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 | |||
| ГОСТ Р 8.644-2008 | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки | 01.06.2009 | действующий |
| Название (англ.): State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер | |||
