| Номер | Название | Дата введения | Статус |
| ГОСТ 2.796-81 | Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | заменён | |
| Название (англ.): Unified system for design documentation. Graphic designations in schemes. Elements of vacuum systems Область применения: Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем в схемах всех отраслей промышленности, выполняемых вручную или автоматизированным способом. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2181-80. | |||
| ГОСТ 2.796-95 | Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1997 | действующий |
| Название (англ.): Unified system for design documentation. Graphic designations in schemes. Element of vacuum systems Область применения: Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем всех отраслей промышленности | |||
| ГОСТ 2.797-81 | Единая система конструкторской документации. Правила выполнения вакуумных схем | 01.01.1983 | действующий |
| Название (англ.): Unified system for design documentation. Rules for presentation of vacuum schemes Область применения: Настоящий стандарт устанавливает правила выполнения вакуумных схем вакуумных систем всех отраслей промышленности | |||
| ГОСТ 5.1150-71 | Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.01.1972 | действующий |
| Название (англ.): High vacuum diffusion pumps type НВД. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на высоковакуумные диффузионные насосы типа НВД с быстротой откачки 0,15 и 0,25 куб.м/с (150 и 250 л/с). Насосы предназначены для откачки воздуха, неагрессивных газов, паров и паро-газовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений во взрывобезопасном помещении при температуре окружающего воздуха от 10 до 30 гра.С, относительной влажности 65 плюс минус 15% и атмосферном давлении 750 плюс минус 30 мм рт.ст | |||
| ГОСТ 5.1807-73 | Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | действующий |
| Название (англ.): Type-ГИН-0,5-1М getter-ion pump. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов | |||
| ГОСТ 5197-85 | Вакуумная техника. Термины и определения | 01.07.1986 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum technology. Terms and definitions Область применения: Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники | |||
| ГОСТ 9887-70 | Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Общие технические условия | 01.07.1973 | действующий |
| Название (англ.): Diaphragm pneumatic actuators SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации, предназначенные для управления регулирующими и запорными органами исполнительных устройств в системах управления производственными процессами и для управления регулирующей арматурой | |||
| ГОСТ 9986-78 | ГСП. Преобразователи электропневматические аналоговые. Общие технические условия | 01.07.1979 | действующий |
| Название (англ.): SSI. Electropneumatic analogue transducers. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на электропневматические аналоговые преобразователи, входящие в комплекс государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), эквивалентно преобразующие электрические аналоговые токовые сигналы и сигналы напряжения постоянного тока в аналоговый пневматический сигнал.
Преобразователи предназначены для связи электрических аналоговых приборов и устройств ГСП и электрических машин с пневматическими приборами и устройствами ГСП | |||
| ГОСТ 9988-84 | Устройства регулирующие пневматические ГСП. Общие технические условия | 01.07.1985 | действующий |
| Название (англ.): Pneumatic regulator devices of SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические (с унифицированным пневматическим выходным сигналом) регулирующие устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для использования в системах автоматического контроля, регулирования и управления параметрами промышленных технологических процессов (регуляторы, выполненные в виде самостоятельных устройств), а также для встраивания в приборы ГСП и не используемые как самостоятельные устройства | |||
| ГОСТ 13373-67 | Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Основные параметры и размеры | 01.07.1968 | действующий |
| Название (англ.): Actuating pneumatic diaphragm-spring straight motion mechanisms SSI. Types. Basic parameters and dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и
средств автоматизации, изготавливаемые по ГОСТ 9887—70 | |||
| ГОСТ 14715-88 | Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum valves. Types. Main charecteristics Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1х10 в ст. минус 7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 град. С | |||
| ГОСТ 18626-73 | Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.01.1976 | утратил силу в РФ |
| Название (англ.): Bore diameters of components of vacuum systems. Basical dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов | |||
| ГОСТ 24206-80 | Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия | 01.01.1982 | действующий |
| Название (англ.): Pneumatic mathematic operation instruments and devicas SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами | |||
| ГОСТ 24934-81 | Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | утратил силу в РФ |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Fixed screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032 | |||
| ГОСТ 24935-81 | Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | утратил силу в РФ |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 | |||
| ГОСТ 25196-82 | Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники | |||
| ГОСТ 25197-82 | Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры | 01.07.1983 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 | |||
| ГОСТ 25198-82 | Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры | утратил силу в РФ | |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 | |||
| ГОСТ 25662-83 | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний | 01.01.1984 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций | |||
| ГОСТ 25663-83 | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний | 01.01.1984 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия | |||
| ГОСТ 26099-84 | Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры | 01.01.1985 | действующий |
| Название (англ.): Reciprocating vacuum pumps. Types and basic parameters Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей | |||
| ГОСТ Р 52615-2006 | Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы | 01.03.2007 | действующий |
| Название (англ.): Compressors and vacuum pumps. Safety requirements. Part 2. Vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на все типы вакуумных насосов, комбинаций вакуумных насосов и вакуумные системы и устанавливает основные виды опасностей, исходящие от вакуумных насосов.
Стандарт устанавливает требования безопасности, предъявляемые к насосам, их транспортированию и хранению, установке, эксплуатации, техническому обслуживанию и демонтажу во время предполагаемого срока эксплуатации и последующей утилизации. Настоящий стандарт не распространяется на насосы для непрерывного откачивания в открытых системах, в которых давление на входе насоса не падает ниже 75 кПа (например в пылесосах, вентиляторах). Требования, для отдельных типов насосов могут быть дополнены в соответствии с требованиями нормативных документов на насос конкретного типа | |||
| ГОСТ Р 52715-2007 | Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры | 01.09.2007 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Pipeline fittings. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины) и устанавливает установочные размеры для соединительных частей вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 630 мм ряда R5 | |||
| ГОСТ Р 52856-2007 | Оборудование вакуумное. Размеры фланцев | 01.06.2008 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Flange dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные, опорные и накидные фланцы, а также на установочные и центрирующие кольца, обеспечивающие герметичность вакуумных соединений, и устанавливает их основные и присоединительные размеры. Указанные размеры обеспечивают взаимозаменяемость неподвижных, опорных и накидных фланцев | |||
| ГОСТ Р 52912-2008 | Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды | 01.09.2008 | действующий |
| Название (англ.): Nominal diameters of components of vacuum systems. Series Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд значений номинальных диаметров, а также их обозначения | |||
| ГОСТ Р 53177-2008 | Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности | 01.05.2009 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum technology. Measurement of performance characteristics of mass-spectrometer method of tightness control Область применения: Настоящий стандарт распространяется на масс-спектрометрический метод контроля герметичности вакуумных систем всеми способами, указанными в ГОСТ 28517, при которых происходит натекание пробного вещества в предварительно откачанный объект, и устанавливает процедуры определения характеристик контроля | |||
| ГОСТ Р 53334-2009 | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Vapour vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 1. Measurement of volume rate of flow (pumping speed) Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пароструйные выкуумные насосы и устанавливает метод измерения быстроты действия этих насосов.
Рассматриваемые насосы, включают в себя три класса: - диффузионные насосы; - эжекторные насосы; - бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов). Перечисленные насосы могут работать с ловушкой (ами) или без нее (них) | |||
| ГОСТ Р 53335-2009 | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Positive-displacement vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 1. Measurement of volume rate of flow (pumping speed) Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает метод измерения быстроты действия.
Данные типы насосов могут работать с ловушкой(ами) или без нее(них) | |||
