| Номер | Название |
Дата введения | Статус |
| ГОСТ 5.2030-73 |
Термобарокамера типа КТХБ-К-0,025 - 65/155. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.07.1973 | действующий |
| Название (англ.): A heat, cold and reduced atmospheric pressure chamber КТХБ-К-0,025 - 65/155. Quality requirements for certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на термобарокамеру типа КТХБ-К-0,025-65/155, предназначенную для испытания изделий при пониженной или повышенной температуре с пониженным давлением и обеспечивающую подачу электрического напряжения на изделия и измерение параметров в процессе испытания |
| ГОСТ 5.2105-73 |
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.09.1973 | действующий |
| Название (англ.): Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| ГОСТ 28237-89 |
Камеры неинжекционного типа для получения постоянной относительной влажности | 01.03.1990 | действующий |
| Название (англ.): Test enclosures of non-injection type for constant relative humidity Область применения: Настоящий стандарт распространяется на камеры, работающие при постоянной номинальной температуре, находящейся в диапазоне от температуры окружающей среды до 60 град. С, при постоянной относительной влажности |
