ГОСТ Р 8.628-2007 - Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления


Обозначение:	ГОСТ Р 8.628-2007

Статус:	действующий

Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection

Дата актуализации текста:	07.11.2012

Дата актуализации описания:	07.11.2012

Дата введения в действие:	01.02.2008

Область и условия применения:	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Список изменений:	№1 от 01.04.2011 (рег. 12.11.2010) «Срок действия продлен»

Приложение №1:	Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

Расположен в:	ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.040 Линейные и угловые измерения Включая геометрические характеристики (GPS) 17.040.01 Линейные и угловые измерения в целом КГС Классификатор государственных стандартов* Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т88 Методики поверки и метрологической аттестации Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений.

Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007


Обозначение:	Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

Дата введения в действие:	01.04.2011

Дата актуализации:	19.06.2011