ГОСТ Р 8.640-2008 - Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки


Обозначение:	ГОСТ Р 8.640-2008

Статус:	действующий

Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Название англ.:	State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

Дата актуализации текста:	07.11.2012

Дата актуализации описания:	07.11.2012

Дата введения в действие:	01.01.2009

Область и условия применения:	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

Расположен в:	ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.020 Метрология и измерения в целом Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. Величины и единицы измерений см. 01.060 Химические эталонные материалы см. 71.040.30 КГС Классификатор государственных стандартов* Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений.