Обозначение: | ГОСТ Р 52250-2004 |
Статус: | действующий |
Название рус.: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
Название англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
Дата актуализации текста: | 07.11.2012 |
Дата актуализации описания: | 07.11.2012 |
Дата введения в действие: | 01.01.2005 |
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
Расположен в: |