Обозначение: | ГОСТ 25661-83 |
Статус: | действующий |
Название рус.: | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
Название англ.: | Installations for final water treatment. General technical requirement |
Дата актуализации текста: | 07.11.2012 |
Дата актуализации описания: | 07.11.2012 |
Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
Список изменений: | №1 от 01.01.1989 (рег. 29.06.1988) «Срок действия продлен» |
Расположен в: |
|