| Номер | Название | Дата введения | Статус |
| ГОСТ 5.1800-73 | Установка для финишной очистки воды типа УФ-400А. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.03.1973 | действующий |
| Название (англ.): Plants for water final refinements of УФ-400А type. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установку для финишной очистки деионизованной воды, предназначенную для получения глубокообессоленной воды методом ионного обмена | |||
| ГОСТ 5.1807-73 | Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | действующий |
| Название (англ.): Type-ГИН-0,5-1М getter-ion pump. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов | |||
| ГОСТ 5.2030-73 | Термобарокамера типа КТХБ-К-0,025 - 65/155. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.07.1973 | действующий |
| Название (англ.): A heat, cold and reduced atmospheric pressure chamber КТХБ-К-0,025 - 65/155. Quality requirements for certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на термобарокамеру типа КТХБ-К-0,025-65/155, предназначенную для испытания изделий при пониженной или повышенной температуре с пониженным давлением и обеспечивающую подачу электрического напряжения на изделия и измерение параметров в процессе испытания | |||
| ГОСТ 5.2105-73 | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.09.1973 | действующий |
| Название (англ.): Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов | |||
| ГОСТ 25196-82 | Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники | |||
| ГОСТ 25661-83 | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования | 01.01.1984 | действующий |
| Название (англ.): Installations for final water treatment. General technical requirement Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции | |||
| ГОСТ 27716-88 | Фотошаблоны печатных плат. Общие технические условия | 01.07.1989 | действующий |
| Название (англ.): Masks for printed boards. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рабочие фотошаблоны, предназначенные для изготовления односторонних, двусторонних, многослойных печатных плат на гибком и жестком диэлектрическом основании и гибких печатных кабелей, разработанных по ГОСТ 23751-86 | |||
| ГОСТ 28237-89 | Камеры неинжекционного типа для получения постоянной относительной влажности | 01.03.1990 | действующий |
| Название (англ.): Test enclosures of non-injection type for constant relative humidity Область применения: Настоящий стандарт распространяется на камеры, работающие при постоянной номинальной температуре, находящейся в диапазоне от температуры окружающей среды до 60 град. С, при постоянной относительной влажности | |||
| ГОСТ Р 50139-92 | Оборудование технологическое для сборочно-монтажного производства радиоэлектронных средств. Общие технические условия | 01.07.1993 | действующий |
| Название (англ.): Processing equipment. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сборочно-монтажное технологическое оборудование, предназначенное для механизации и автоматизации технологических процессов электрического монтажа и сборки радиоэлектронных средств (РЭС).
По условиям эксплуатации оборудование должно соответствовать исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150 со степенью защиты корпуса от пыли и брызг IР44 по ГОСТ 14254 | |||
